SMC直動壓力傳感器選型有哪些參數(shù)下載 SMC直動壓力傳感器以彈性元件的形變指示壓力,但這種結(jié)構(gòu)尺寸大、重,不能提供電學(xué)輸出。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體壓力傳感器也應(yīng)運而生。其特點是體積小、輕、準(zhǔn)確度、溫度特性。特別是隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體傳感器向著微型化發(fā)展,而且其功耗小、可靠性。 半導(dǎo)體壓電阻型 半導(dǎo)體壓電阻抗擴(kuò)散壓力傳感器是在薄片表面形成半導(dǎo)體變形壓力,通過外力(壓力)使薄片變形而產(chǎn)生壓電阻抗效果,從而使阻抗的變化轉(zhuǎn)換成電信號。 靜電容量型 靜電容量型壓力傳感器,是將玻璃的固定極和硅的可動極相對而形成電容,將通過外力(壓力)使可動 溫度傳感器 壓力傳感器 極變形所產(chǎn)生的靜電容量的變化轉(zhuǎn)換成電氣信號。 (E8Y的動作原理便是靜電容量方式,其他機(jī)種采用半導(dǎo)體方式)。 在選擇壓力傳感器的時候我們要考慮他的綜合,而壓力傳感器的受哪些方面的影響呢?其實造成傳感器誤差的因素有很多,下面我們注意說四個無法避免的誤差,這是傳感器的初始誤差。 的偏移量誤差:由于壓力傳感器在整個壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定,因此變換器擴(kuò)散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。 其是靈敏度誤差:產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴(kuò)散過程的變化。 三是線性誤差:這是一個對壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線稱重傳感器。 Z后是滯后誤差:在大多數(shù)情形中,壓力傳感器的滯后誤差*可以忽略不計,因為硅片具有很的機(jī)械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。 壓力傳感器的這個四個誤差是無法避免的,我們只能選擇的設(shè)備,利用新技術(shù)來降低這些誤差,還可以在出廠的時候進(jìn)行一點的誤差校準(zhǔn),盡Z大的可能來降低誤差以滿足客戶的需要。 |