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REXROTH伺服閥工業(yè)運(yùn)用場(chǎng)合的不斷擴(kuò)大，某些價(jià)格研制出了專門使用于工業(yè)場(chǎng)合的工業(yè)伺服閥。如Moog公司就在1963年推出了*款專為工業(yè)場(chǎng)合使用的73系列伺服閥產(chǎn)品。隨后，越來(lái)越多的專為工業(yè)用途研制的伺服閥出現(xiàn)了。它們具有如下的特征：較大的體積以方便制造；閥體采用鋁材（需要時(shí)亦可采用鋼材）；獨(dú)立的*以方便調(diào)整及維修；主要使用在14MPa以下的低壓場(chǎng)合；盡量形成系列化、標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品。然而Moog公司在德的分公司卻將其伺服閥的應(yīng)用場(chǎng)合主要集中在壓場(chǎng)合，一般工作壓力在21MPa，有的甚到35MPa，這就使閥的設(shè)計(jì)專重于壓下的使用可靠性。而隨著伺服閥在工業(yè)場(chǎng)合的廣泛運(yùn)用，各公司均推出了各自的適合工業(yè)場(chǎng)合用的比例閥。其特點(diǎn)為低成本，控制雖比不上伺服閥，但通過(guò)進(jìn)的控制技術(shù)和進(jìn)的電子裝置以彌補(bǔ)其不足，使其性能和功效逼近伺服閥。
REXROTH伺服閥、連桿機(jī)構(gòu)、變量柱塞泵和馬達(dá)（如用在行走機(jī)構(gòu)中為行走馬達(dá)，如用在振動(dòng)機(jī)構(gòu)中為振動(dòng)馬達(dá)）組成。在控制線圈15無(wú)輸入電流時(shí)，通過(guò)調(diào)節(jié)調(diào)零彈簧16，使閥芯處于零位，此時(shí)，ps腔和r腔、a腔和b腔互不相通。且a、b兩腔的壓力相等，兩個(gè)控制液壓缸7在復(fù)位彈簧的作用下，將斜盤11的傾角α變?yōu)?o，此時(shí)變量西半球塞泵無(wú)油液輸出，馬達(dá)8不工作；如果控制線圈15輸入一電流信號(hào)，則電流伺閥輸出一定的流量，設(shè)a腔為輸出油腔，b腔為回油腔（如圖1所示），與a腔相通的控制液壓缸7推動(dòng)斜盤轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)角度，斜盤通過(guò)連桿機(jī)構(gòu)12進(jìn)行反饋，拉動(dòng)調(diào)零彈簧16，使閥芯回到零位。此時(shí)，斜盤便平衡在某一設(shè)定角度，馬達(dá)以一定的速度的扭矩工作，當(dāng)輸入到控制線圈的信號(hào)發(fā)生變化時(shí)，馬達(dá)的速度也隨之改變。
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REXROTH伺服閥是早期伺服閥的結(jié)構(gòu)型式，它的—是雙噴噴擋板閥，是滑閥，閥芯兩端各有一根對(duì)中彈簧。當(dāng)控制電流輸入時(shí)，閥芯在對(duì)中彈簧作用下處于中位。當(dāng)有控制電流輸入時(shí)，對(duì)中彈簧力與噴嘴擋板閥輸出的液壓力相平衡，使閥芯取得一個(gè)相應(yīng)的位移，輸出相應(yīng)的流量。
REXROTH伺服閥屬于開環(huán)控制、其性能受溫度、壓力及閥內(nèi)部結(jié)構(gòu)參數(shù)變化的影響較大；銜鐵及擋板的位移都較大．對(duì)力矩馬達(dá)的線件要求較；對(duì)中彈簧要求體積小、剛度大、抗疲勞，因此制造困難；兩端對(duì)中彈簧由于制造和安裝的誤差．易對(duì)閥芯產(chǎn)生側(cè)向卡緊力．增加閥芯摩擦力．使閥的滯環(huán)增大，分辨率降低。但由于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、造價(jià)低，可適用于—般的、性能要求不的電液伺服系統(tǒng)。
REXROTH伺服閥既是電液轉(zhuǎn)換元件，又是功率放大元件，它能夠把微小的電氣信號(hào)轉(zhuǎn)換成大功率的液壓能（流量和壓力）輸出。它的性能的劣對(duì)系統(tǒng)的影響很大。因此，它是電液控制系統(tǒng)的核心和關(guān)鍵。為了能夠正確設(shè)計(jì)和使用電液控制系統(tǒng)，必須掌握不同類型和性能的電液伺服閥。REXROTH伺服閥#REXROTH伺服閥#REXROTH伺服閥#REXROTH伺服閥￥REXROTH伺服閥#力士樂伺服閥#@@##39529830REXROTH伺服閥輸入信號(hào)是由電氣元件來(lái)完成的。電氣元件在傳輸、運(yùn)算和參量的轉(zhuǎn)換等方面既快速又簡(jiǎn)便，而且可以把各種物理量轉(zhuǎn)換成為電量。所以在自動(dòng)控制系統(tǒng)中廣泛使用電氣裝置作為電信號(hào)的比較、放大、反饋檢測(cè)等元件；而液壓元件具有體積小，結(jié)構(gòu)緊湊、功率放大倍率，線性度，死區(qū)小，靈敏度，動(dòng)態(tài)，響應(yīng)速度快等，可作為電液轉(zhuǎn)換功率放大的元件。因此，在一控制系統(tǒng)中常以電氣為“神經(jīng)”，以機(jī)械為“骨架”，以液壓控制為“肌肉”Z大限度地發(fā)揮機(jī)電、液的長(zhǎng)處。
REXROTH伺服閥的種類很多，但各種伺服閥的工作原理又基本相似，其分析研究的方法也大體相同，故今以常用的力反饋兩電液伺服閥和位置反饋的雙滑閥式伺服閥為重點(diǎn)，討論它的基本方程、傳遞函數(shù)、方塊圖及其特性分析。其它伺服閥只介紹其工作原理，同時(shí)也介紹伺服閥的性能參數(shù)及其測(cè)試方法。REXROTH伺服閥#REXROTH伺服閥#REXROTH伺服閥#REXROTH伺服閥￥REXROTH伺服閥#力士樂伺服閥
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REXROTH伺服閥的結(jié)構(gòu)和原理如圖28所示，無(wú)信號(hào)電流輸入時(shí)，銜鐵和擋板處于中間位置。這時(shí)噴嘴4二腔的壓力pa=pb，滑閥7二端壓力相等，滑閥處于零位。輸入電流后，電磁力矩使銜鐵2連同擋板偏轉(zhuǎn)θ角。設(shè)θ為順時(shí)針偏轉(zhuǎn)，則由于擋板的偏移使pa＞pb，滑閥向右移動(dòng)?；y的移動(dòng)，通過(guò)反饋彈簧片又帶動(dòng)擋板和銜鐵反方向旋轉(zhuǎn)（逆時(shí)針），二噴嘴壓力差又減小。在銜鐵的原始平衡位置（無(wú)信號(hào)時(shí)的位置）附近，力矩馬達(dá)的電磁力矩、滑閥二端壓差通過(guò)彈簧片作用于銜鐵的力矩以及噴嘴壓力作用于擋板的力矩三者取得平衡，銜鐵就不再運(yùn)動(dòng)。同時(shí)作用于滑閥上的油壓力與反饋彈簧變形力相互平衡，滑閥在離開零位一段距離的位置上定位。這種依靠力矩平衡來(lái)決定滑閥位置的方式稱為力反饋式。如果忽略噴嘴作用于擋板上的力，則馬達(dá)電磁力矩與滑閥二端不平衡壓力所產(chǎn)生的力矩平衡，彈簧片也只是受到電磁力矩的作用。因此其變形，也就是滑閥離開零位的距離和電磁力矩成正比。同時(shí)由于力矩馬達(dá)的電磁力矩和輸入電流成正比，所以滑閥的位移與輸入的電流成正比，也就是通過(guò)滑閥的流量與輸入電流成正比，并且電流的極性決定液流的方向，這樣便滿足了對(duì)電液伺服閥的功能要求。REXROTH伺服閥#REXROTH伺服閥#REXROTH伺服閥#REXROTH伺服閥￥REXROTH伺服閥#力士樂伺服閥#@@##39529830